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四探針電阻率/方阻測試儀 KD09-KDY-1

四探針電阻率/方阻測試儀 KD09-KDY-1

簡要描述:
四探針電阻率/方阻測試儀 KD09-KDY-1

(1)儀器采用GB/T 1552-1995硅、鍺單晶電阻率測定直排四探針法
(2)范圍:電阻率10-5~10+3歐姆·厘米,分辨率為10-4歐姆·厘米
方塊電阻10-4~10+4歐姆/□,小分辨率為10-3歐姆/□

產(chǎn)品時間:2024-03-20

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四探針電阻率/方阻測試儀 KD09-KDY-1

(1)儀器采用GB/T 1552-1995硅、鍺單晶電阻率測定直排四探針法
(2)范圍:電阻率10-5~10+3歐姆·厘米,分辨率為10-4歐姆·厘米
方塊電阻10-4~10+4歐姆/□,小分辨率為10-3歐姆/□
(3)可測量材料:半導(dǎo)體材料硅鍺棒、塊、片、導(dǎo)電薄膜等
可準(zhǔn)確測量的半導(dǎo)體尺寸:直徑≥20㎜
可測量的半導(dǎo)體尺寸:直徑≥8㎜
(4)測量方式:平面測量。
(5)電壓表:雙數(shù)字電壓表,可同時觀察電流、電壓變化
A.電流表量程0~199.99 mV,電壓表量程0~19.999 mV
B.電壓靈敏度:1μv和10μv
C.基本誤差±(0.004%讀數(shù)+0.01%滿度)
D.輸入阻抗﹥1000MΩ
E. 4 1/2位數(shù)字顯示,0~19999

四探針電阻率/方阻測試儀 KD09-KDY-1

(6)恒流源:
A.電流輸出:直流電流0.003~100 mA連續(xù)可調(diào),由交流電源供給
B.量程:10uA,100uA,1 mA,10 mA,100 mA五檔
C.恒流源精度:各檔均≤±0.05%
(7)四探針測試探頭
測量電阻率的小游移探針頭,使用幾何尺寸的紅寶石軸承,量具精度的硬質(zhì)合金探針,在寶石導(dǎo)孔內(nèi)運動,耐磨,精度高。
A.探頭間距1.59㎜
B.探針機械游率:±0.3%
C.探針直徑0.8㎜
D.探針材料:碳化鎢,探針間及探針與其他部分之間的絶緣電阻大于109歐姆。
(8)手動測試架:KDJ-1A 型手動測試架探頭上下由手動操作,可以用作斷面單晶棒和硅片測試,探針頭可上下移動距離:120mm,測試臺面200x200(mm)。
(9)精度
電器精度:1-1000歐姆≤0.3 %
整機測量精度:1-500歐姆·厘米≤3%
(10)電流:220V±10%,50HZ,功率消耗﹤35W

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